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產(chǎn)品目錄

PT2T125-160S壓電偏擺臺(tái)-上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司

詳細(xì)說(shuō)明

    產(chǎn)品描述

PT2T125-160S開發(fā)用于需要在光學(xué)檢查和成像系統(tǒng)中對(duì)鏡子進(jìn)行超高精度定位的應(yīng)用。反射鏡簡(jiǎn)單地固定在平臺(tái)的傾斜平臺(tái)上,可提供> ±1mrad的行程和亞微弧度的分辨率;低移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)化的閉環(huán)控制可為高速應(yīng)用提供出色的響應(yīng)時(shí)間。

PT2T125-160S可單軸使用,型號(hào)為PT1T125-160S。

PT2T125-160S是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的偏轉(zhuǎn)臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部使用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),補(bǔ)償量小,確保了平臺(tái)極佳的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性。

平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。中空式超薄設(shè)計(jì),且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。

可選擇內(nèi)置位置傳感器。集成在壓電偏轉(zhuǎn)鏡中的傳感器是測(cè)量線性位移的線性傳感器。閉環(huán)傳感器可選擇應(yīng)變片式傳感器或電容位置傳感器,可獲得更高的定位精度。

產(chǎn)品特性

—中空尺寸80x80mm

—優(yōu)異的位置穩(wěn)定性及亞毫弧度級(jí)分辨率

—θxθy 二維偏轉(zhuǎn)

—閉環(huán)光束偏轉(zhuǎn)角度≥±0.8 mrad

—內(nèi)部集成應(yīng)變片傳感器

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接裝置及定制其它固定方式

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可定制鏡片轉(zhuǎn)接工裝

應(yīng)用領(lǐng)域

—圖像處理/穩(wěn)定

—激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)

—激光調(diào)諧、激光束穩(wěn)定

—光學(xué)過(guò)濾器/開關(guān)

—干涉測(cè)量

 
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