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上海納動納米位移技術(shù)有限公司
| 聯(lián)系人：石莉
女士 (經(jīng)理) |
| 電 話：021-54668263 |
手 機：19921055512  |
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| PFB壓電物鏡聚焦臺-上海納動納米位移技術(shù)有限公司 |
產(chǎn)品描述
PFB-050U/100U是重載設(shè)計直接驅(qū)動型的壓電陶瓷物鏡聚焦平臺，是專門用于顯微鏡物鏡的精確定位設(shè)計。典型應(yīng)用為半導(dǎo)體晶圓切割領(lǐng)域，它設(shè)計行程為50/100μm的兩種規(guī)格。便于用戶選擇適合的產(chǎn)品。PFB-050U/100U的應(yīng)用范圍包括：Z向移動，3D成像，自動對焦或與我們提供的XY納米位移臺設(shè)備一起使用。PFC-050U/100U本體由鋁，鋼和黃銅制成，閉環(huán)配有穩(wěn)定性的傳感器采用全閉環(huán)配置。
黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，以使每個物鏡都適合PFC納米定位器�？捎玫臉�(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等，也可以按需定制。本系列產(chǎn)品可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)可實現(xiàn)更好的聚焦穩(wěn)定性。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，可帶動較大物鏡的高動態(tài)定位和掃描。
可選的應(yīng)變測量反饋閉環(huán)操作版本，采用高分辨率應(yīng)變測量位置傳感器，具有高精度和可重復(fù)的運動，也補償壓電陶瓷的蠕變特性，閉環(huán)裝置可以用于開環(huán)或閉環(huán)控制。
產(chǎn)品特性
—位移：50μm/100μm（閉環(huán)）
—螺紋尺寸：W0.8x1 / 36“至M38x0.75
—適用于質(zhì)量達1Kg專用物鏡
—高重載型應(yīng)用設(shè)計
—高動態(tài)應(yīng)用
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇定制其它螺紋規(guī)格
應(yīng)用領(lǐng)域
—半導(dǎo)體晶元切割、半導(dǎo)體測試、生物技術(shù)
—自動聚焦系統(tǒng)、測量技術(shù)
—干涉測量、篩選
—3D成像、共聚焦顯微鏡
—光學(xué)圓盤顯微鏡、超分辨率顯微鏡 |
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