產(chǎn)品描述
PSWH30-005U系列是具有納米級(jí)定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統(tǒng)。本系列產(chǎn)品提供*大的多功能性，可以配置XY或XYZ運(yùn)動(dòng)，并擁有獨(dú)立的Z/X軸運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品�？蛇x配內(nèi)部位置傳感器進(jìn)行閉環(huán)，可進(jìn)行重復(fù)的位置測(cè)量。
體積小，外形尺寸僅有30x30x33mm，具有高諧振頻率，高穩(wěn)定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計(jì)量應(yīng)用�？筛鶕�(jù)客戶要求定制。
PSWH30-005U系列壓電陶瓷元件直接移動(dòng)工作臺(tái)面，具有高剛性，即使在高負(fù)載下可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定位。
產(chǎn)品特性
—高速1ms響應(yīng)，多軸定位
—*短的響應(yīng)時(shí)間
—亞納米范圍內(nèi)的高分辨率
—高度緊湊的設(shè)計(jì)帶來卓越的性能
選配功能
—可定制孔位及轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可提供XYZ版本
應(yīng)用領(lǐng)域
—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡
—測(cè)量、計(jì)量
—光學(xué)探針、光學(xué)掃描、光束對(duì)準(zhǔn)
—微流體技術(shù) |
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