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高校實(shí)驗(yàn)室用鄭科探KT-Z1605CVD金屬銅靶材蒸鍍儀器 小型蒸鍍儀

詳細(xì)說明

    電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。 通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面







小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。

通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史**久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。











技術(shù)規(guī)格：

- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；

- 基底旋轉(zhuǎn)：8轉(zhuǎn)/分鐘；

- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；

- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；

- 泵：前級干泵，分子泵；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；

- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存；

- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學(xué)監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；

- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；



- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；



- 保護(hù)樣品：配有樣品擋板，可手動或自動開/關(guān)擋板，達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果；

 
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