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PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積法用鄭科探KT-PE500Z實(shí)驗(yàn)薄膜儀

詳細(xì)說明

    PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。











KT-PE150S 性能參數(shù)



型號



KT-PE150S



KT-PE500Z



信號頻率



13.56MHz±0.005%



功率輸出范圍



0-150W



0-500W



功率穩(wěn)定度



≤5W



反射功率



40W



射頻輸出接口



7/16,female 50 Ω



功率穩(wěn)定度



≤5W



匹配方式



手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配



500W自動(dòng)匹配



耦合方式



電感式耦合



輝光壓力



≤30Pa



供電電壓



50/60Hz 220v±10%



整機(jī)效率



≥70%



冷卻方式



強(qiáng)制風(fēng)冷



支持爐管直徑



φ25-φ80



φ25-φ150



感應(yīng)區(qū)



210mm



整機(jī)重量



48KG



整機(jī)尺寸:H x W x D(mm)



600 x 600x 110

 
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