6”晶圓退火烤箱
潔凈烤箱：
潔凈烤箱概述：
潔凈烤箱。是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。箱內(nèi)材料采用無塵材料，通過外置過濾器持續(xù)補充潔凈氣體，從而使烘箱工作室內(nèi)達(dá)到無塵狀態(tài)。
工作室內(nèi)溫度由溫控儀智能控制，具備自動恒溫及時間控制功能，并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。
潔凈工業(yè)烤箱詳細(xì)資料：
一．特點：
1.在無塵潔凈環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部同樣潔凈；
2.全周氬焊，無塵電熱器，機臺不產(chǎn)微塵；
3.特殊風(fēng)路設(shè)計,腔體內(nèi)潔凈度、溫度均勻度十分優(yōu)秀。
二．執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn)
1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗B
3用途
潔凈工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
1.產(chǎn)品名稱及型號：潔凈烘箱
2.主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1溫度范圍： 60～ +300℃；
2.2溫度均勻度：200℃±3℃、300℃±4℃;
2.3溫度波動度：±0.5℃（空載）
2.4溫控精度：±0.1℃;
2.5烘箱擱板為活動形式。
2.6電源：380v , 50Hz
四、完善的安全保護(hù)措施：
漏電斷路器、
控制線路保險絲裝置、
超溫防止保護(hù)裝置、
電熱過電流保護(hù)裝置、
馬達(dá)過電流保護(hù)、
機臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器、
門安全開關(guān)
五、選購設(shè)備：
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3三色指示燈
6.4烘烤架
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