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產(chǎn)品目錄

品牌寧康/奧林巴斯顯微鏡/激光共聚焦掃描顯微鏡OLS3000/4000

詳細(xì)說(shuō)明

    激光掃描共焦顯微鏡OLS300可進(jìn)行如下檢測(cè):

1)測(cè)量

2D測(cè)量:*佳測(cè)量范圍1.5mm~1μm;不僅是線寬度,也能進(jìn)行圓的直徑等幾何測(cè)量。

3D測(cè)量:*佳測(cè)量范圍1mm~0.5μm;體積、容積、表面積等3D測(cè)量;可測(cè)量透明膜厚度。

粗糙度分析:*適合于Rz0.1μm程度的粗糙度分析;不公是線粗糙度,面粗糙度也能檢測(cè)。

2)3D形貌

能獲得3D色彩等多種多樣的信息 等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。

利用微分干涉可識(shí)別表面的更加細(xì)微的凹凸信息。

3)高分辨率觀察

顯示器倍率為14,400倍。接近SEM的放大率。

接近SEM的高對(duì)比度的解像度。

可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12μm的LINE和SPACE 利用微分干涉進(jìn)一步提高分辨率。

實(shí)時(shí)觀察。

*大觀察范圍是2,560X2,560μm

 
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