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遠程等離子體源(RPS)
詳細說明
是一種用于產(chǎn)生等離子體的裝置,通常被用于在真空環(huán)境中進行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝,以及半導體刻蝕和薄膜設備的預處理反應和清洗等。與傳統(tǒng)等離子體源不同的是,RPS通常不直接接觸要處理的表面,而是在一定距離之外產(chǎn)生等離子體,并將等離子體輸送到目標表面,因此被稱為“遠程等離子體源”。
應用特征
采用新的固態(tài)微波源技術【非磁控管微波源】。具有很高的頻率、功率穩(wěn)定性,使用壽命長。
自主開發(fā)的微波匹配器,能實現(xiàn)在不同氣體條件下,快速進行微波源與等離子體的阻抗匹配。
等離子體發(fā)生器材質(zhì)可選,適用于多種氣體。
體積小、集成度高、便于更換。低顆粒污染;
獨特的等離子反應腔設計,適用于多種氣體的電離與阻抗匹配。
系統(tǒng)運行時,氣體壓力適應范圍寬。氣體電離率高、電離速度快。
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