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便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 設(shè)計緊湊, 重量僅 21kg, 占用空間小, 前級泵清潔無油, 通用電壓, 滿足無任何污染工藝要求. 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 是目前市場上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產(chǎn)品!
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 特性：
1. 集成無油真空系統(tǒng): 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列渦輪分子泵
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量僅 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進(jìn)氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設(shè)計
6. 可以在任何位置操作: 水平或垂直, 較低的維護(hù)
7. USB 接口, 方便數(shù)據(jù)傳輸,
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語言可選
Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 應(yīng)用：
1. 半導(dǎo)體, 鍍膜, 太陽能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質(zhì)譜
3. 工業(yè), 電廠, 化工
4. 系統(tǒng)集成
上海伯東檢漏儀客戶案例
半導(dǎo)體用光刻機(jī)檢漏, 整機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負(fù)壓法檢漏. 漏率設(shè)置 5x10-11pa m3/s.
杜瓦封裝檢漏
內(nèi)部集成紅外探測器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應(yīng)用于火星探測項目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
超高真空系統(tǒng)檢漏
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統(tǒng)的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進(jìn)行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 選擇前級泵為干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀
若您需要進(jìn)一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀詳細(xì)信息或討論，請聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機(jī)13 |
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