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深圳市旺達康科技有限公司
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| 國內(nèi)廠家銷售半導體行業(yè)用高純電子級正硅酸四乙酯TEOS |
電子級正硅酸四乙酯TEOS
名稱 正硅酸四乙酯(TEOS)
化學式 C8H20O4Si
相對分子量 208.33
CAS號 78-10-4
理化性質(zhì) 無色透明液體，熔點－77℃，沸點168.5℃，密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學品。 |
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