266nm紫外脈沖激光器
LL266-Q全固態(tài)266 nm的紫外激光器廣泛用于紫外光固化，微電子，光盤雕刻，激光醫(yī)療，科學(xué)實(shí)驗(yàn)等
波長Wavelength (nm)
266±1
輸出功率 Output Power (mW)
1-200
線寬Spectral Linewidth (nm)
<3
工作方式 Operating Mode
脈沖
單脈沖能量(μJ)
0.1~10
重復(fù)速率(kHz)
可操控的
固定重復(fù)速率，例如1k,2k,3k,4kHz,穩(wěn)壓激光器脈沖發(fā)射(穩(wěn)定脈沖能量,峰值,持續(xù)時(shí)間和周期)。
不同的重復(fù)速率在1kHz-4kHz的范圍內(nèi)可以通過輸入一個(gè)外部TTL信號(hào)取得。
不可操控的
在4k-10kHz范圍內(nèi)不確定的重復(fù)速率和激光器不穩(wěn)定脈沖發(fā)射。需要高峰值能量脈沖以適合應(yīng)用程序。
光斑模式
Beam Mode
橫模 Transverse
Near TE00
縱模 Longitude
Multi-longitude
偏振方式 Polarization
Line polarization
偏振比Polarization Ratio
>100:1
光束質(zhì)量Beam Quality (M2 factor)
<20
光束發(fā)散角Beam Divergence (full angle, mrad)
~2.0
光束直徑Beam Diameter at Aperture (mm)
2.0
光束指向穩(wěn)定性 Beam pointing stability（mrad）
<0.05
功率穩(wěn)定性Power Stability (RMS, over 8 hours)
<5%,<10%
振幅穩(wěn)定性Noise of Amplitude (P-P)/噪聲值
<3%
出光孔高度 Aperture Position (mm)
25/45
激光頭
Laser Head
尺寸 Dimensions (L×W×H, mm)
209 x 88x 74/204 x 78 x 63
重量 Net Weight (kg)
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