應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體行業(yè)。
簡述
GPR-1600UHB系列痕量氧分析儀采用*新的Pico-lon技術(shù)燃料電池，具有分辨率高，長期漂移小，壽命長，響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間快，勿需維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。開創(chuàng)了電化學(xué)燃料電池測量PPB級痕量氧的新時(shí)代。
技術(shù)參數(shù)
原 理：Pico-lon技術(shù)電化學(xué)傳感器。
量 程：0 ~ 100ppb，0 ~ 1/10/100ppm O2自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié)。
準(zhǔn)確度：量程的2%（在常溫，常壓下）。
分辨率：量程的0.1%。
傳感器壽命：18個(gè)月（在100ppm下）。
線性度：R平方值>0.995。
校準(zhǔn)氣：建議采用800ppb O2 in N2標(biāo)準(zhǔn)氣。
響應(yīng)時(shí)間：60秒達(dá)到90%。
回復(fù)時(shí)間：15分鐘從9ppm（1分鐘）到10ppb。
體 積：臺(tái)式13.9" x 9.9" x 13.4" 。
電器特征
認(rèn) 證：ISO9001，CE認(rèn)證。
顯 示：大屏幕LCD顯示，實(shí)時(shí)顯示樣氣壓力和溫度。
控制鍵：帶有四個(gè)防水按鍵，可方便地選擇量程、校準(zhǔn)、報(bào)警和系統(tǒng)設(shè)置功能。
智能性：量程自動(dòng)切換功能，數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)功能和圖形顯示，通過USB遠(yuǎn)端控制。
溫漂抑制：帶恒溫控制系統(tǒng)、自動(dòng)壓力和溫度補(bǔ)償功能。
輸 出：USB數(shù)字接口，0~1V或隔離的4~20mA模擬輸出，量程提示輸出。
報(bào) 警：兩路繼電器報(bào)警輸出，電源失敗報(bào)警輸出，傳感器失敗報(bào)警輸出。
電 源：220 V AC@50Hz。
操作條件
測量介質(zhì)：H¬¬2、He、惰性氣體等。
壓 力：10 ~ 100psig。
溫 度：5 ~ +45℃。
流 量：1 ~ 3 SCFH，推薦：2 SCFH((約1升/每分鐘)。
樣氣系統(tǒng)
壓力調(diào)節(jié)閥，流量控制閥和流量計(jì)，快速吹掃旁路系統(tǒng)。進(jìn)氣口采用1/4"VCR接頭，出氣口采用1/4”卡套接頭。
選件
—面板安裝，壁掛安裝，19”支架安裝。
—其它量程：0 ~ 50/500ppb, 0 ~ 5/50ppm O2。
—“零”氣組件。
—?dú)鈩?dòng)閥旁路系統(tǒng)。 |
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