真空光學(xué)測(cè)量爐
事光測(cè)實(shí)驗(yàn)力學(xué)方法、實(shí)驗(yàn)技術(shù)和工程應(yīng)用研究工作，近二十年來(lái)主要從事以激
光技術(shù)和近代光學(xué)為主要手段的現(xiàn)代光測(cè)力學(xué)實(shí)驗(yàn)研 究工作：
1, 光彈性法:研究和發(fā)展全息光彈性法、激光散光光彈性法、光彈性貼片法;
2, 云紋干涉法:在實(shí)驗(yàn)理論、方法、實(shí)驗(yàn)技術(shù)以及細(xì)觀力學(xué)、材料科學(xué)、殘余應(yīng)力
、微電子封裝以及高溫和現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量中的應(yīng)用取得全面 系統(tǒng)的進(jìn)展：
3, 采用獨(dú)創(chuàng)的旋轉(zhuǎn)擴(kuò)展點(diǎn)光源全息干涉系統(tǒng)制作頻率從600線/mm至10000線/mm的高
靈敏度全息云紋光柵，使云紋干涉法測(cè)量靈敏度提 高到新水平;
4, 納米云紋法:用電子顯微鏡、原子力顯微鏡測(cè)量晶體材料的納觀力學(xué)行為.
5, 三維多功能云紋干涉儀研制
在研項(xiàng)目科學(xué)內(nèi)容
為適應(yīng)材料科學(xué)、微力電系統(tǒng)、微電子封裝等科技發(fā)展的需要,當(dāng)前重點(diǎn)從事從 微
米、亞微米到納米尺度范圍的變形場(chǎng)和力學(xué)行為測(cè)量 方法、技術(shù)和設(shè)備的研究,實(shí)現(xiàn)實(shí)
驗(yàn)手段在不同空間尺度的分辨率和靈敏度的貫通,并實(shí)現(xiàn)從宏觀到納觀多層次力學(xué)行為和
力學(xué)參量的測(cè) 量.
※應(yīng)用領(lǐng)域：
CNT生產(chǎn)的真空光學(xué)測(cè)量爐廣泛應(yīng)用于材 料科學(xué)、微電子、光電子等領(lǐng)域進(jìn)行光學(xué)觀察和測(cè)量的重要設(shè)備。
※產(chǎn)品描述：
CNT公司生產(chǎn)的真空光學(xué)測(cè)量爐主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統(tǒng)，，獨(dú)立氣體調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動(dòng)控制與工控機(jī)自控控制可選。
※技術(shù)指標(biāo)：
參 數(shù) 名 稱 單 位 配置
加熱系統(tǒng) 電阻或RF感應(yīng)加熱，帶加溫和勻氣系統(tǒng)
工 作 溫 度 ℃ 100~1000℃
觀察區(qū)尺寸 (φ×H)mm 1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
工作載荷 T 1-4T
控 溫 精 度 ℃ ±1
極限真空 pa 6.67×10-3
密封系統(tǒng) 磁流體密封
水冷、氣路系統(tǒng) 冷卻水循環(huán)機(jī)、無(wú)噪聲氣泵
報(bào)警及保護(hù) 對(duì)缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警及相應(yīng)保護(hù)措施
真空系統(tǒng)
（選 配） 真空系列 單級(jí)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵
工作腔體 不銹鋼
氣氛系統(tǒng) 浮子流量計(jì)、進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì)
記錄裝置 進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)無(wú)紙記錄儀
備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標(biāo)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)制造，歡迎來(lái)函、來(lái)電咨詢！
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