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碳化硅氧化爐真空退火爐高溫擴散爐青島晨立電子有限公司

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公　司：青島晨立電子有限公司

發(fā)布時間：2024年10月23日

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電　　話： 0532-88533525 傳　　真： 0532-67720618 手　　機： 13869885308 地　　址：中國山東即墨市山東省青島市即墨區(qū)泰山三路285號聯(lián)東U谷即墨科技創(chuàng)新谷3號樓郵　　編： 266200
公司主頁：	http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)

詳細說明

一、設備結構:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圓形6寸片
3、工藝布局:滿足客戶工藝要求

4、自動化程度:工控機控制系統(tǒng)自動控制工藝流程
5、送取片方式:手動進出舟。
6、外形:主機1臺，主機架為臥式兩管。
二、主要技術參數(shù):
1、加熱爐管有效口徑:滿足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作溫度范圍:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒溫區(qū)長度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控機統(tǒng)一管理工藝
5、氣路設置:每管兩路氣體:氮氣100L/min.氬氣100L/min。均采用MFC自動控制流量大小。

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